北京杰瑞晟欣科技有限公司
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MC系列气体质量流量控制器

常规MC系列 量程：0.5 SCCM  – 12,000 SLPM（可选） 工作压力：11.5 – 160 PSIA 精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准 控制范围：0.01% – 100% 满量程（量程比为10,000：1 ） 控制响应速度：最快 30 ms
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产品描述
技术参数
技术选型

常规MC系列

  • 量程：0.5 SCCM  – 12,000 SLPM（可选）
  • 工作压力：11.5 – 160 PSIA
  • 精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
  • 控制范围：0.01% – 100% 满量程（量程比为10,000：1 ）
  • 控制响应速度：最快 30 ms
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Mass Flow Ranges：0.5 SCCM–10,000 SLPM

Accuracy:Standard:：±0.6% of reading    High: ±0.5% of reading
Measurement Range：0.01–100% of full scale

Response Time：10 ms measurement response;30 ms control response

Multi-gas Calibration：98+ pre-loaded gases
Repeatability：Greater of ±0.1% of reading or ±0.02% of full scale
Communications：Analog, RS–232, RS–485, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, TCP/IP, Modbus RTU, PROFIBUS, PROFINET, IO-Link
Operating pressure：11.5 – 160 PSIA

Pressure sensitivity：Mass flow zero shift: ± 0.01% of full scale per atm from tare pressure  

                                             Mass flow span shift: ± 0.1% of reading per atm from calibration conditions

Temperature sensitivity：Mass flow zero shift: ± 0.01% of full scale per °C from tare temperature

                                                     Mass flow span shift: ± 0.01% of reading per °C from 25°C

 

 

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MCS系列alicat耐腐蚀性气体质量流量控制器
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