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液体中量程质量流量控制器

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产品描述
技术参数
技术选型

产品简介

TSK521质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。TSK521系列气体质量流量控制器/流量计(以下称MFC/MFM)通过测量层流元件的差压、压力、温度来计算流量,这种测量方式具有固有的线性,重复性好,高精度,无需预热,温漂小等特点。本产品可以同时测量4种参数:气体的瞬时流量、累计流量、温度和绝压,并且可以同时显示和输出。广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等 行业的气流测量与控制。

技术特点

1、采用差压式原理、气体的质量流量不受环境温度及压力的变化而变化。
2、管状分流原理,便于更改量程,安装简易。
3、良好的传感器封装,减少外部温度变化的敏感性。
4、测量和控制的量程范围大,最大满量程可达300ln/min(N2当量)或20kg/min(H2O当量)
5、预热时间短、零飘小、测量和控制精度高,适用于微小流量的测量和控制。
6、可通过二次仪表或者PLC与仪表进行通讯,操作简单。
7、可直接与上位机连接,实现组网,便于操作。

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技术参数

量 程:0...20kg/min (H2O当量)
准 确 度:±1.0%F.S
量 程 比:50:1
重复精度:±0.2%F.S
线性精度:±0.5%F.S
响应时间:1…4sec
稳 定 性:±0.1%F.S
环境温度:5…45℃
温度系数:<±0.1%F.S/℃
泄 漏 率:<2×10 -8atm.ml/s(He)
预热时间:15min
供 电:+15 …24vdc
模拟信号:0…5vdc或4…20mA
数字信号:RS232 RS485(Modbu s-RTU) 液晶显示
本体材质:SS316不锈钢
最大耐压:30bar
连接方式:卡套式连接(可选螺纹连接 面密封VC R或其他连接方式)

技术选型

序 列 号: TSK521
产品类型: 【C】质量流量控制器
耐压等级: 【L】低耐压 30bar
介质类型: 由厂家选择
流量范围: 【003k】3kg/min 【005k】5kg/min 【010k】10kg/min
                  【015k】15kg/min 【020k】20kg/min 
被测介质: 由厂家选择
供电类型: 【S】24vdc 
模拟信号: 【 V 】0…5vdc 【A】4…20mA
数字信号: 【X】本地显示  【R】RS232 【M】RS485(Modbus-RTU)
密封材质: 【V】氟橡胶 【T】EPDM 【N】氯丁橡胶 【B】丁晴橡胶 【Y】其他
接头尺寸: 【C】φ8 【D】10 【E】12 【I】3/8” 【J】1/2” 【Y】其他

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