TSK621系列数字式大流量

TSK621系列数字式大流量

详细介绍

产品简介
TSK621系列大量程流量气体质量流量控制器/流量计以其高可靠性、高稳定性而获得了广泛的认可,产品测量和控制范围宽,测量和控制的准确度不受环境温度和外界压力的影响,广泛的应用在真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工实验室、分析仪器、冶金材料、能源动力等各领域的应用。


技术指标
量    程: 300...3000SLM 
准 确 度: ±1.0%F.S
控制范围: 50:1 
重复精度: ±0.25%F.S 
响应时间: 1...2S 
稳 定 性: <±0.1%F.S
温度范围: 0...50℃ 
温度系数: <±0.05% FS/℃ 
泄 漏 率: <2×10-9SCCSHe 
预热时间: 15min 
供电电源: +15...24VDC
模拟信号: 0...5VDC或4...20mA  
数字连接: RS485 MODBUS-RTU协议 
本体材质: SS316L不锈钢 
最大耐压: 15bar 
过程连接: 双卡套或VCR 
密封材质: 氟橡胶  EPDM  Kalrez 
防护等级: IP40


时间:2018/8/10 11:35:20  【打印此页】 【关闭】 【返回
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